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아이멕 본사벨기에 루벤에 위 아이멕 본사벨기에 루벤에 위치한 아이멕(imec)은 단일 국가나 기업이 아닌, 세계 100여 개국에서 모인 연구자들이 함께 연구개발(R&D)에 몰두하는 공동연구 플랫폼이다. 벨기에는 세계 반도체 기술 경쟁을 주도하는 국가는 아니지만 아이멕은 1984년 설립 이후 모두가 인정하는 세계적인 반도체 연구 허브로 자리매김했다.◇ '협력 플랫폼'의 힘아이멕이 세계적 연구기관으로 성장한 배경은 1991년 시작한 '산업 제휴 프로그램(IIAP)'이다. 증가하는 반도체 R&D 비용과 기술 복잡성을 해결하려는 새로운 시도였다. 결과는 성공적이었다. 비용과 위험을 공유함으로써 개별 기업 혼자서는 감당하기 어려웠던 첨단 연구가 가능해졌다. 산업계는 아이멕 주도 아래 미래 첨단 기술 발전에 있어서는 상호 협력하는 독특한 생태계를 구축해갔다.아이멕은 기업 간 협력 증대를 위해 중립적 플랫폼을 구축해왔다. IIAP를 통해 공동 연구로 만들어진 지적재산(IP)은 특정 기업이 소유권을 주장할 수 없게 했다. 또 각 기업이 공동 연구에서 필요에 따라 제공했던 IP를 다른 참여 회사에 공유하도록 강제하지 않는다. 협력을 촉진하면서 각 회사의 이익도 보장해주는 구조다.아이멕 관계자는 “1990년대 초 IIAP 모델을 도입했고, 그로부터 10년 뒤 300㎜ 플랫폼 전환과 첫 ASML 극자외선(EUV) 장비를 도입하면서 선도적 스케일링 프로그램의 기반을 마련했다”며 “특히 300mm CMOS 코어 프로그램에 인텔이 최초 주요 파트너로 참여하며 탄력을 받았고 이후 업계 전반의 참여로 확산됐다”고 전했다.아이멕(imec) 클린룸에서 얘기를 나누고 있는 연구원들실제 ASML은 2005년 말 EUV 노광장비 시제품을 아이멕 연구소에 설치하며 이듬해 초 EUV 상용화를 위한 공동 연구가 시작됐다. 해당 프로젝트에는 삼성전자, 인텔, 인피니언, 필립스, 텍사스인스트루먼트(TI) 등이 참여했다. 2018년 EUV 상용 장비 도입과 양산 적용까지 약 13년이 걸렸다. 기술적 난제로 EUV 상용화에 대한 산업계와 학계에서의 회의적인 의견이 많았으나 이를 극복한 것이다.아이멕 관계자는 “아이멕의 노광 프로그램은 30년 넘게 지속돼 왔는데, 이는 차세대 기술 노드에 필요한 노광 및 패터닝 과제에 대한 R&D에 집중돼 있다”며 “EUV 프로젝트는 약 20년 전 알파 데모 툴을아이멕 본사벨기에 루벤에 위치한 아이멕(imec)은 단일 국가나 기업이 아닌, 세계 100여 개국에서 모인 연구자들이 함께 연구개발(R&D)에 몰두하는 공동연구 플랫폼이다. 벨기에는 세계 반도체 기술 경쟁을 주도하는 국가는 아니지만 아이멕은 1984년 설립 이후 모두가 인정하는 세계적인 반도체 연구 허브로 자리매김했다.◇ '협력 플랫폼'의 힘아이멕이 세계적 연구기관으로 성장한 배경은 1991년 시작한 '산업 제휴 프로그램(IIAP)'이다. 증가하는 반도체 R&D 비용과 기술 복잡성을 해결하려는 새로운 시도였다. 결과는 성공적이었다. 비용과 위험을 공유함으로써 개별 기업 혼자서는 감당하기 어려웠던 첨단 연구가 가능해졌다. 산업계는 아이멕 주도 아래 미래 첨단 기술 발전에 있어서는 상호 협력하는 독특한 생태계를 구축해갔다.아이멕은 기업 간 협력 증대를 위해 중립적 플랫폼을 구축해왔다. IIAP를 통해 공동 연구로 만들어진 지적재산(IP)은 특정 기업이 소유권을 주장할 수 없게 했다. 또 각 기업이 공동 연구에서 필요에 따라 제공했던 IP를 다른 참여 회사에 공유하도록 강제하지 않는다. 협력을 촉진하면서 각 회사의 이익도 보장해주는 구조다.아이멕 관계자는 “1990년대 초 IIAP 모델을 도입했고, 그로부터 10년 뒤 300㎜ 플랫폼 전환과 첫 ASML 극자외선(EUV) 장비를 도입하면서 선도적 스케일링 프로그램의 기반을 마련했다”며 “특히 300mm CMOS 코어 프로그램에 인텔이 최초 주요 파트너로 참여하며 탄력을 받았고 이후 업계 전반의 참여로 확산됐다”고 전했다.아이멕(imec) 클린룸에서 얘기를 나누고 있는 연구원들실제 ASML은 2005년 말 EUV 노광장비 시제품을 아이멕 연구소에 설치하며 이듬해 초 EUV 상용화를 위한 공동 연구가 시작됐다. 해당 프로젝트에는 삼성전자, 인텔, 인피니언, 필립스, 텍사스인스트루먼트(TI) 등이 참여했다. 2018년 EUV 상용 장비 도입과 양산 적용까지 약 13년이 걸렸다. 기술적 난제로 EUV 상용화에 대한 산업계와 학계에서의 회의적인 의견이 많았으나 이를 극복한 것이다.아이멕 관계자는 “아이멕의 노광 프로그램은 30년 넘게 지속돼 왔는데, 이는 차세대 기술 노드에 필요한 노광 및 패터닝 과제에 대한 R&D에 집중돼 있다”며 “EUV 프로젝트는 약 20년 전 알파 데모 툴을 통한 초기 생태계 조성 단계에서 시작됐고, 현재는 하이-NA EUV를 보다 빠르고 효율적으로 도입할 수 있도록 지원하고 있다”고 설명했 아이멕 본사벨기에 루벤에 위